LCD RF plazmas aprīkojums

LCD RF plazmas aprīkojums ir augstas veiktspējas{0}}sistēma, kas izstrādāta LCD, OLED un citu plakano paneļu displeju materiālu virsmas apstrādei. Tas ir izstrādāts, lai apmierinātu stingras mūsdienu ražošanas prasības, kur vienlīdz svarīga ir stabila apstrāde un augsta caurlaidspēja. Kopējie sistēmas izmēri ir 880 mm × 790 mm × 1710 mm, un vakuuma kameras izmēri ir 450 mm × 450 mm × 450 mm. Katra elektroda plāksne ir 410 mm × 430 mm, un vienā ciklā vienlaikus var apstrādāt līdz pieciem substrātu slāņiem.

 

No funkcionālā viedokļa iekārta nodrošina lietotājam -draudzīgu HMI, kas ļauj tieši pielāgot galvenos procesa parametrus, piemēram, RF izejas jaudu, vakuuma sūknēšanas ilgumu, atsevišķus apstrādes segmentus un gāzes plūsmas ātrumu. Šos iestatījumus var ātri mainīt, lai pielāgotos dažādiem materiāliem vai procesa prasībām, nodrošinot gan elastību, gan konsekvenci rūpnieciskām darbībām.

Gāzes padeves sistēma atbalsta trīs neatkarīgus kanālus un var apstrādāt slāpekli (N₂), argonu (Ar), ūdeņradi (H₂) un skābekli (O2). Plūsmas mērītāji ir kalibrēti diapazonā no 0 līdz 200 ml/min, ar kontroles precizitāti, saglabājot svārstības zem 5%. Visus galvenos pneimatiskos komponentus piegādā SMC, un kameras blīvējums balstās uz izturīgām fluor{5}}gumijas blīvēm, kas nodrošina ilgstošu-stabilitāti prasīgās vidēs. Plazma tiek ģenerēta, izmantojot paš-adaptīvu RF barošanas avotu, kas darbojas ar 13,56 MHz, ar maksimālo jaudu 1 kW, kas garantē uzticamu enerģijas piegādi vienmērīgai apstrādei.

Strukturāli kamera ir izgatavota no augstas-tīrības pakāpes 304 nerūsējošā tērauda, ​​lai samazinātu oksidāciju un koroziju. Sistēma izmanto dubultu-blīvējumu, lai nodrošinātu vakuuma integritāti, savukārt vara elektrodu turētāji kameras aizmugurē nostiprina horizontālās elektrodu plāksnes, izmantojot vairākus skrūvju fiksatorus, uzlabojot stabilitāti un enerģijas pārnesi. Papildu sānu balsti vēl vairāk pastiprina elektrodus. Vakuuma līdzsvars ir optimizēts: ātrās-atlaišanas vārsts ļauj izlīdzināt spiedienu 5–10 sekunžu laikā, samazinot dīkstāves laiku un palielinot produktivitāti.

Lai nodrošinātu ekspluatācijas drošību, iekārta ir aprīkota ar kļūdu signalizācijas sistēmu. Tas reģistrē jebkura neparastā notikuma datumu, laiku un cēloni, savukārt tiek aktivizēta automātiska izslēgšana, lai aizsargātu gan kameru, gan sagataves.

Lietojumprogrammas ziņā šis aprīkojums ir plaši izmantots flip{0}}mikroshēmas nepietiekamības procesos. Plazmas tīrīšana pirms aizpildīšanas ievērojami uzlabo virsmas aktivāciju, uzlabo mitrināšanu un palielina adhēziju starp pamatni un iekapsulantu. Rezultātā tas ne tikai uzlabo iepakojuma kvalitāti, bet arī uzlabo uzlaboto displeju un pusvadītāju komplektu ilgtermiņa uzticamību.

Populāri tagi: LCD rf plazmas iekārtas, Ķīnas LCD rf plazmas iekārtu ražotāji, rūpnīca