Plazmas kodināšanas mašīnas struktūra

ICP aprīkojums galvenokārt sastāv no četrām daļām: priekš-vakuuma kameras, kodināšanas kameras, gāzes padeves sistēmas un vakuuma sistēmas.

(1) Pre-vakuuma kamera

Pre{0}}vakuuma kameras funkcija ir nodrošināt, ka kodināšanas kamera tiek uzturēta noteiktā vakuuma līmenī, to neietekmē ārējā vide (piemēram, putekļi, ūdens tvaiki), kā arī izolē bīstamas gāzes no tīrās telpas. Tas sastāv no pārsega, manipulatora, transmisijas mehānisma, izolācijas durvīm utt.

(2) Kodināšanas kamera

Kodināšanas kamera ir ICP kodināšanas iekārtas galvenā struktūra. Tam ir tieša ietekme uz kodināšanas ātrumu, kodināšanas vertikālumu un raupjumu. Kodināšanas kameras galvenās sastāvdaļas ir: augšējais elektrods, ICP radiofrekvences bloks, RF radiofrekvences bloks, apakšējo elektrodu sistēma, temperatūras kontroles sistēma utt.

(3) Gāzes apgādes sistēma

Gāzes padeves sistēmai ir jānogādā kodināšanas kamerā dažādas kodināšanas gāzes un precīzi jākontrolē gāzes plūsmas ātrums un plūsma caur spiediena regulatoru (PC) un masas plūsmas regulatoru (MFC). Gāzes apgādes sistēma sastāv no gāzes avota pudeles, gāzes padeves cauruļvada, vadības sistēmas, maisīšanas bloka u.c.

(4) Vakuuma sistēma
Ir divas vakuuma sistēmas: viena priekš-vakuuma kamerai un otra kodināšanas kamerai. Pre-vakuuma kamera tiek evakuēta ar mehānisku sūkni. Tikai tad, kad vakuuma līmenis pirms-vakuuma kamerā sasniedz iestatīto vērtību, var atvērt izolācijas durvis, lai pārsūtītu vafeles. Vakuumu kodināšanas kamerā nodrošina mehāniskais sūknis un molekulārais sūknis. Gāzes, kas rodas reakcijas rezultātā kodināšanas kamerā, arī tiek izvadītas ar vakuuma sistēmu.